韩国化工企业已确立高纯度大量生产氟化氢技术
据国外媒体报道，韩国产业通商资源部日前表示，韩国化工企业已确立能以高纯度大量生产氟化氢的制造技术。据悉，氟化氢被用于晶圆的清洗等方面。
外媒称，韩国化工企业“Soul Brain”新设和扩建了制造工厂，可将液体氟化氢的杂质减少至“1万亿分之一”。这一纯度可用于要求极高纯度的半导体制造。
韩国经济媒体认为，生产规模将能满足韩国国内70至80％左右的需求。（TechWeb）
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