当前位置: 陈皮网 -> 资讯首页 -> 科技 -> 中电科:离子注入机实现全谱系产品国产化
陈皮网3月17日讯 今日,中国电子科技集团有限公司对外公布,已成功实现离子注入机全谱系产品国产化。
据悉,全谱系产品包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至28nm,为我国芯片制造产业链补上重要一环,为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。(吴英天)
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